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    FB7008D型 多功能等離子體實驗儀

    產品名稱:FB7008D型 多功能等離子體實驗儀

    產品詳情

    本實驗裝置由本公司與浙江大學共同研制。
    鍍膜原理
    真空濺射離子、電子飛速運動,放電離子飛速轟擊機臺靶面,濺擊大量(銀、銅等)介質,原子逐步沉積到基片襯底表面成膜。
    主要實驗內容
    ☆不同金屬材料薄膜制備;
    ☆利用空陰極放電制備了CU和Ag涂層研究空陰極對薄膜結構;
    ☆在光學材料上薄膜的制備及特性的測量的影響;
    ☆研究離子轟擊對膜性質的影響。
    儀真空系數:旋片式真空泵,單相220V,抽速4L/s,極限真空:6×10-1Pa。
    ☆工作氣壓:10~200Pa;
    ☆工作電壓:0~1500V可調
    ☆工作電流0~200mA可測量
    ☆基臺加熱控溫系統室溫200度;
    ☆濺射鍍膜鐘罩直徑140mm高度150mm;
    ☆基臺可升降,可調范圍:10~50mm。

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